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四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四線法測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量裝置，配上專用的四探針測(cè)試架，就可以測(cè)量片狀，塊狀或柱狀半導(dǎo)體材料的徑向和軸向電阻率，測(cè)量擴(kuò)散層的薄層電阻（亦稱方塊電阻）。四探針測(cè)試架有電動(dòng)，手動(dòng)，手持三種可以選配，另外還配有四個(gè)夾子的四線輸入插頭用來作為測(cè)量線狀或片狀電阻的 中，低阻阻值.
四探針測(cè)試儀（Four-Point Probe）是一種用于測(cè)量材料電阻率（resistivity）和薄層電阻（sheet resistance）的高精度儀器，尤其適用于半導(dǎo)體、薄膜、導(dǎo)電涂層等材料的電學(xué)性能測(cè)試。其核心作用是消除接觸電阻和引線電阻的影響，從而獲得更準(zhǔn)確的測(cè)量結(jié)果。
典型應(yīng)用場(chǎng)景：
半導(dǎo)體行業(yè)：硅片、GaAs等晶圓的電阻率測(cè)試。摻雜工藝后的電學(xué)性能驗(yàn)證。
薄膜材料：ITO（透明導(dǎo)電膜）、太陽能電池薄膜、金屬鍍層的薄層電阻測(cè)量。
科研領(lǐng)域：納米材料（石墨烯、碳納米管）、有機(jī)半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性分析。
工業(yè)生產(chǎn)：液晶顯示（LCD）、柔性電路（FPC）的導(dǎo)電涂層質(zhì)量控制。
四探針測(cè)試儀技術(shù)參數(shù)：
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產(chǎn)品名稱 |
四探針測(cè)試儀 |
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產(chǎn)品型號(hào) |
CY- SZT |
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測(cè)量范圍 |
電阻率 |
10??-105?-cm |
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方塊電阻 |
10??- 105?/□ |
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電阻 |
10-?- 105 ? |
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可測(cè)半導(dǎo)體材尺寸 |
直 徑 |
Ф15-100mm |
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長(zhǎng)（或高）度 |
≤400mm |
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測(cè)量方位 |
軸向，徑向均可 |
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數(shù)字電壓表 |
量程 |
20mV,200mV,2V |
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誤差 |
±0.5%讀數(shù)±2字 |
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輸入阻抗 |
>10?? |
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分辨率 |
10μV |
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點(diǎn)陣液晶顯示 |
過載顯示 |
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恒流源 |
電流輸出 |
共分10μA,100uA,1mA,10mA,100mA五擋可通過按鍵選擇，各擋均為定值不可調(diào)節(jié)，電阻率探頭修正系和擴(kuò)散層方塊電阻修正系數(shù)均由機(jī)內(nèi)CPU運(yùn)算后，直接顯示修正后的結(jié)果 |
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誤 差 |
±0.5%±2字 |
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四探針測(cè)試頭 |
探 針 間 距 |
1mm |
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探針機(jī)械游移率 |
±1.0% |
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探 針 材 料 |
碳化鎢(或高速鋼),Ф0.5mm |
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電 源 |
交流 |
220V±10% |
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功耗 |
<35W |
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